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量产型原子层沉积技术参数

量产型原子层沉积技术参数

1 不锈钢腔体,双层加热设计;

2 等离子体增强模块集成于腔体上盖;

3 进口高速ALD隔膜阀;

4 基片尺寸可以定制;

5 基片最高加热400℃;

6 最多可提供6路前驱物和6路工艺气体;

7 气路全金属密封,并可加热至120℃;

8 可提供前驱体钢瓶加热或冷却;

9 可全自动控制工艺过程,同时也可以手动操作。

10 量产型设计,可以全自动化